电子厂废气来源:
电子厂的废气来源主要有两个:一是半导体设备、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用的溶剂型涂料,以及清洗工艺使用的有机脱脂剂、脱水剂、感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂的工艺环节。二是光伏行业的切割、粘结、清洗、印刷、烧结等过程,以及电子元件的注塑、喷涂/印刷、烘干、清洁等环节。
电子厂废气的处理工艺流程如下:
1、预处理阶段:一般采用喷淋塔对废气进行预处理,去除粉尘和易溶于水的有害气体。
2、经过预处理后的废气进入酸碱洗涤塔,进行酸碱废气的处理。
3、酸碱洗涤后,废气进入活性炭吸附器,活性炭具有很大的比表面积和吸附能力,能有效吸附有机物质。废气在活性炭床层中通过,有机物质被吸附到活性炭表面,实现净化效果。
4、活性炭饱和后,需要进行脱附操作,将吸附在活性炭上的有机物质去除。脱附过程一般通过加热或减压等方式实现,使吸附的有机物质解吸并转移到其他介质中,活性炭再次可用于吸附处理。
5、经过脱附的废气进入催化燃烧装置,通过催化剂的作用,在高温下将有机物质彻底氧化为无害物质,如水和二氧化碳。催化燃烧过程具有高效、彻底分解有机物质的优点。
电子厂废气处理设备的优势:
1、起燃温度低、节省能源。有机废气的催化燃烧具有点火温度低、能耗低的特点,特别是在某些情况下,催化燃烧设备也可以实现点火温度加热后不需要外面的世界。
2、适用范围广。催化燃烧设备基本上能够除去烃类中的所有有机烃和恶臭气体,另外,吸附催化燃烧法特别适用于处理有机化工、涂料、绝缘材料等工业排放的低浓度、多组分和不回收的废气,效果会很好。
3、处理效率高、无二次污染。使用催化燃烧设备法处理有机废气的净化速度基本上都超过95%,尤其是产品不伤害CO2和H2O,因为燃烧温度较低,这大大减少了氮氧化物的形成,因此不会造成二次污染。
4、工艺流程简单、设备紧凑、运行可靠。RCO采用RCO工艺净化有机废气,可同时去除多种有机污染物,具有工艺流程简单、设备紧凑、运行可靠等优点。
5、热回收效率高。RCO具有运行成本低的优势,其热回收效率一般可达95%以上。
6、净化设备可与烘箱配套使用,净化后的气体可直接循环回烘箱加热设备,达到节能减排的目的。
7、安全可靠。RCO催化燃烧设备有5个安全装置,防止事故发生。另外,电加热系统分段工作,自动跟踪温度,内置蓄热装置,节能省电。
8、采用吸附浓缩+催化燃烧的组合工艺,整个系统实现了净化和解吸过程的闭式循环,运行过程中不产生二次污染。
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